Le centre technologique ALPhANOV a renouvelé son MEB de table par la 3^ème génération du MEB VEGA haute-résolution de la société Tescan.

Cette dernière génération de MEB offre la possibilité aux ingénieurs d’obtenir de nouvelles performances. L’intégration d’une nouvelle électronique hautement performante permet une acquisition d’image plus rapide (en quelques minutes à partir de l’insertion de l’échantillon dans la chambre) et une résolution d’image < 5 nm dans des conditions idéales de mesure. Ce nouveau MEB offre la possibilité de travailler en vide partiel afin d’obtenir des images en haute résolution de matériaux diélectrique et organique sans métallisation. L’observation d’échantillons de grande taille (50 mm x 50 mm) est également réalisable avec le MEB VEGA.
 
Le MEB est équipé de :

• Deux détecteurs d’électrons :
  • BSE pour des images en contraste chimique
  • SE pour des images en contraste topographique
• Un détecteur pour analyser la chimie de surface des matériaux (EDS detector)